제품정보

PUREMATIC

PUREMATIC

각종 산업 기계의 성능 향상을 위해
「물」을 정확하고 최적의 온도로 제어

「물」 또는 「순수」를 열매체로 사용하는 경우 액체 온도 자동 조절기입니다. 레이저 가공기 및 노광 장치를 비롯한 반도체 제조 장치, 의료 기계, 또한 리니어 모터 등의 기계 요소의 냉각에 이용되는 매우 정밀한 온도 제어를 실현합니다.

TECHNOLOGY

반도체 제조 장치, 의료 기계 등의 열 문제에 대응

반도체 제조 장치, 의료 기계, 리니어 모터, 기타 산업 기계 등의 안에는, 가동시의 열에 대한 냉각액 「물」또는 「순수」를 사용하지 않으면 안될 기기가 있습니다. 「퓨어 매틱」은 그러한 경우의 「물」 「순수」의 액체 온도 자동 조절기입니다. 매우 정밀한 온도 제어를 요구하는 경우도 있으며, 당사의 제품 중에서도 가장 높은 수준의 기술이 구사되는 제품이 있습니다. 특히 반도체 제조 장치 메이커를 향해 세계 최고 수준의 온도 조절 장치의 제공을 담당하고 있습니다.

LINE UP

  • W 시리즈

    공작 기계의 주축 머리의 내장 모터 및 선형 모터, 반도체 제조 장치 및 각종 산업 기계에 사용되는 「물」의 정밀한 온도 제어가 가능한 기종으로, 인버터 제어 방식을 채용. 저 부하 영역에서도 정밀하게 유체 온도 컨트롤이 가능한 「트윈 펄스 밸브 제어 (특허)」를 탑재하고있어, 낮은 부하에서 최대 열부하에 이르기까지 넓은 범위의 제어를 가능하게하고 있습니다.

  • P 시리즈

    주로 반도체 제조 장비 및 의료 기기 등의 각종 산업 기계 · 이화학 기기에 물이나 순수, 기타 특수한 액체를 열 매체로하여 정밀한 온도 제어를하는 것을 목적으로 개발 된 기종입니다. W 시리즈뿐만 아니라 인버터 냉동기를 탑재하고 트윈 펄스 밸브 제어함으로써 광범위하게 정밀한 온도 제어를합니다. 장치 본체에 통합 등 OEM 공급 실적도 풍부합니다.